什么是薄膜膠帶
？
【發(fā)布日期：2016-10-11 09:54:46】
為了提高元件(如晶體管)和金屬材料的耐溫、耐腐蝕等特性，需要在表面噴鍍或擴散滲透一層至多層金屬
薄膜。薄膜厚度在10埃到幾個微米左右。對于極薄的單金屬薄層可以用特征x射線的強度變化來對其厚度進(jìn)行測定
。其方法是:先MI1出薄膜金屬的特征x射線強度，除以純金屬塊相同波長x射線的強度而換算成相對強度百分值
，然后用此值查對標(biāo)準(zhǔn)曲線
，即可N'l1到金屬薄膜的厚度。
標(biāo)準(zhǔn)曲線是將一系列已知厚度(厚度可用光學(xué)干涉等方法測量)的薄膜測出其相對強度百分值后繪出的。由于這種側(cè)厚法要求在測量樣品厚度時的實驗條件應(yīng)與標(biāo)準(zhǔn)曲線一致
，而且薄膜下的基底也應(yīng)是相同的材料，所以只適用于對大量薄膜產(chǎn)品進(jìn)行檢驗方法
。
雖然如此，但它仍有其獨特的優(yōu)點，例如對那些合金薄膜或腐蝕薄膜
，擴散滲透薄膜等多元素組成的薄膜
，在測最其厚度的同時，尚可測定薄膜中的元素組成
，因為相對強度百分值代表的是質(zhì)量厚度(毫克/厘米
，)而并不是直接代表單純的厚度(厘米)，所以薄膜中各個組成的毫克/厘米2值相加起來
，即可以得到總的成分。
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